1.高功率反射鏡

高功率反射鏡必須能夠承受非常高的輻射功率，并且即使在長時間的照射下也不能遭受任何損壞。 損傷閾值LIDT是光學器件電阻的基準。

LIDT 取決于許多參數。 層特性（例如熱特性、清潔度、帶隙）和基板特性（例如材料、表面質量）必須與應用參數（例如波長、脈沖持續時間、重復率、光束直徑、真空與大氣成分）相匹配。

在激光加工過程中，光學器件受到三種主要破壞機制的影響：

? CW – ns → 由于涂層材料內的吸收而導致的熱破壞。

? ns – ~20ps → 由于缺陷吸收而局部加熱。

? ~20ps – fs 或更短→ 電離效應破壞。

不同脈沖長度下的主要破壞機制

我們生產的光學器件具有非常高的破壞閾值。 技術報告中總結了選定 LAYERTEC 光學器件已確認的破壞閾值。

1.1轉向鏡

生產過程中（拋光過程）的 45° 橢圓形轉向鏡（所謂的“香腸片”）

偏轉鏡專門改變入射光的方向。 通過選擇涂層，可以針對特定波長范圍和特定入射角調整鏡子的反射率。 此外，鏡子還可以針對振蕩（偏振）方向和高破壞閾值進行優化。

LAYERTEC 生產幾乎所有入射角和偏振類型的偏轉鏡，無論是針對一種波長優化的布拉格鏡還是寬帶鏡。 例如，根據要求，可以適應高激光功率和/或短脈沖。 此外，還可以計算涂層在Max. 反射時的z低損耗或定義的殘余透射率。

高功率反射轉向鏡,產品列表210條 點擊查看 (按涂層波長)

1.2諧振器反射鏡

激光諧振腔是激光器的核心。 其中產生激光束。 它由一個全反射鏡和一個部分反射鏡組成。 它們之間是有源激光介質，由泵浦機制激發。

端鏡反射光線幾乎 100%。 輸出鏡具有較低的限定反射率，并且從諧振器釋放激光束。 如果端面鏡還充當耦合鏡，則它還具有抗反射層以允許泵浦輻射進入。

LAYERTEC 為光譜范圍 130 nm – 7 μm 的所有激光器生產諧振鏡。 根據激光器類型，使用經過多年驗證的材料組合和設計結構。 除了網上商店的產品之外，還根據客戶的要求制造個性化的特殊反射鏡。

1.3掃描鏡

掃描鏡用于激光材料加工，使激光束在工件上快速靈活地移動。 它們的背面通常被磨成片狀。 由于這種特殊的設計，它們非常薄且輕，以實現方向的快速改變。

掃描鏡是 LAYERTEC 產品系列的重要組成部分。 為此目的開發的層設計提供了高性能穩定性和必要的反射角不變性。 尤其是金屬基鏡與介電層的組合可增加功率激光器的反射率，從而允許在加工區域區域直接成像。

掃描鏡7條 點擊查看

1.4準分子反射鏡

當激光器在紫外范圍內使用時（準分子激光器），光學器件會暴露在非常高的能量下。 此外，準分子激光器以脈沖模式運行，并產生具有高峰值強度的極短脈沖。 因此，準分子光學器件必須具有高損傷閾值并且耐用。 準分子激光器是氣體激光器，通常使用氟進行操作。 如果光學器件暴露在工藝氣體中，則基材和涂層也必須基于氟，否則它們會溶解。

LAYERTEC 生產適用于所有準分子激光器的光學器件（F2 激光器 157 nm、ArF 激光器 193 nm、KrF 激光器 248 nm、XeCl 激光器 308 nm、XeF 激光器 351 nm）。 用于氟基激光器的諧振腔鏡和輸出耦合鏡由帶有氟化物涂層的 CaF2 或 MgF2 基板組成，也可直接與激光氣體接觸使用。 輸出耦合鏡的反射率通常高達 R = 50%。 指出反射率的精度為 ±3%。

157 nm 和 193 nm 的偏轉鏡也基于 CaF2 基板上的氟化物層系統。 這保證了高損傷閾值和長使用壽命。 波長為 248 nm 的偏轉鏡由石英玻璃基板上的 UV 兼容氧化物層系統組成。 光束傳輸光學器件可設計用于任何入射角。 45° 入射角的偏轉鏡可作為標準組件提供。

1.5中紅外反射鏡

MIR 反射鏡適用于中紅外范圍 (1.5 - 8 μm) 的激光輻射。 這種輻射te別容易被碳氫化合物和水吸收。 它主要用于醫療應用和塑料加工。

一方面，中紅外范圍內的波長是通過直接激光激發產生的，波長約為 2 μm（Ho:YAG 激光、Tm:YAG 激光）和 3 μm（Er:YAG 激光）。 另一方面，它們可以通過光學參量頻率轉換（周期性極化鈮酸鋰）產生，沒有直接的激光躍遷。 這種光參量振蕩器的發射范圍延伸至約 8 μm 的波長。

LAYERTEC 為 MIR 系列生產一系列反射和透射光學元件。 熔融石英等標準基材以及標準涂層材料在此波長范圍內部分表現出高吸收。 為了覆蓋更廣泛的波長范圍，涂層設計經過特殊配置。

2.低損耗反射鏡

平行平面鏡

低損耗鏡應以盡可能少的損耗反射激光束。 因此，低損耗反射鏡的反射率為 99.99% 或更高，主要用于電磁輻射的頻率測量和腔內衰蕩 (CRD) 光譜儀。

因此，制造商必須te別注意涂層系統中的吸收源，例如化學計量誤差或雜質（例如鐵、鉻、銅）。

保持盡可能低的散射光損失也很重要。 它們的大小主要取決于基底和內界面的微觀粗糙度以及各層的體積散射光。

LAYERTEC 目前實現了以下值（LAYERTEC 基材和濺射 LAYERTEC 涂層的組合）：

標準情況下，低損耗反射鏡的抗反射層適用于 ? 6.35 毫米至 ? 50.8 毫米的基板幾何形狀。

我們擁有寬帶 CRD 測量站，可以測量不同幾何形狀的反射（ppm 分辨率）。

3.超快反射鏡

超短激光脈沖包含大量不同波長的同步單個波。 當脈沖激光束穿過光學系統時，各個波的波長相關延遲（色散）會導致傳播時間的差異。 結果，激光脈沖變寬并且脈沖能量降低。 對于此類激光系統，需要使用光學器件來消除這些傳播時間 (GDD) 差異。

自 1996 年以來，LAYERTEC 一直為歐洲研發機構和激光器制造商等生產啁啾反射鏡。在數百本有關短脈沖激光技術開發的科學出版物中，LAYERTEC 被稱為定制組件供應商。

啁啾電介質系統在我們公司進行濺射，因此其光學性能實現了非常好的長期穩定性。 必須考慮以下幾個方面：

復雜的啁啾涂層系統應應用于功能區域盡可能小的簡單基板幾何形狀。 作為標準，我們對直徑為 12.7 mm – 25 mm 的圓形光學器件或入射面積為 10 x 40 mm2 – 15 x 45 mm2 的矩形光學器件進行鍍膜。

定制基板幾何形狀是可能的。

我們擁有測量站來確定 250 – 1700 nm 波長范圍內平面線性調頻光學器件的色散。

3.1啁啾反射鏡

當超短激光脈沖通過光學系統時，其形狀會發生變化。 由于色散與波長有關，每個單獨的波都會有不同程度的延遲，并且傳播時間會出現差異。 結果，激光脈沖變寬并且脈沖能量降低。 為了中和這種效應，使用了啁啾鏡。

LAYERTEC 生產特殊介電系統（反射鏡、泵浦反射鏡、短通或長通濾波器、解耦器等），可根據客戶要求在 200 – 5000 nm 波長范圍內對相位響應（即負或正 GDD）產生適應性影響 。

具有簡單布拉格反射鏡（經典 Lambda/4 反射鏡）或更大帶寬的相位校正反射系統稱為啁啾反射鏡。 另一方面，用于僅在幾納米帶寬上具有（高）負 GDD 的 ps 激光器的相位校正鏡被稱為 GTI 鏡。

帶寬與布拉格反射鏡大小相同的啁啾反射鏡通?？梢栽诓辉黾?GDD 振蕩的情況下進行計算和制造。

所需帶寬越大，GDD的振蕩越強。在這些情況下，我們原則上建議通過啁啾鏡像對等其他光學元件對GDD振蕩進行相互補償。

 啁啾反射鏡點擊查看 236條

3.2啁啾鏡對

啁啾鏡用于補償超短激光脈沖與色散相關的傳播時間差。 如果 GDD 曲線中的振蕩很強，則需要啁啾鏡對（由兩個啁啾鏡組成）。 對于高帶寬的反射鏡尤其如此。

啁啾鏡的 GDD 曲線并不代表直線曲線，而是顯示振蕩。 其中，這些強度有多強取決于光譜帶寬。 對于小于同類布拉格鏡帶寬的 GDD 帶寬，振蕩相當小。 另一方面，具有高帶寬的反射鏡表現出強烈的 GDD 振蕩。

可以通過使用相應的鏡對來實現校正。 它們由兩個具有相反 GDD 曲線的不同涂層介電鏡組成，激光束可以根據需要在兩個鏡之間來回反射（見圖）。 這些鏡子針對小入射角進行了優化，從而可以實現大量反射。

點擊查看 啁啾鏡對 82條

3.3  GTI反射鏡

GTI 反射鏡（Gires-Tournois 干涉儀）用于非常窄波長范圍的強時間對準。 這使得它們te別適合緊湊型 ps 激光系統（例如 Yb:YAG 或 Yb:KGW 激光器）。

常見 GTI 鏡像的示例值：

二十多年來，LAYERTEC 一直為quan球優秀的 PS 激光器制造商制造 GTI 反射鏡。

為了增加脈沖功率和/或高重復率，您還可以通過使用多個 GTI 反射鏡來實現所需的校正。 對于極端要求，通常必須在Max. 反射率、GDD 值和損傷閾值之間進行折衷。 由于此類系統負載較重，熱透鏡效應問題在損壞之前就已經出現。

3.4適用于超快應用的金屬反射鏡

鋁、銀或金的金屬層一方面具有在寬帶寬上反射光的優點，另一方面不改變各個波相對于彼此的相位位置。 因此，金屬鏡是短脈沖激光光束引導的理想選擇。

額外的介電涂層可保護金屬層免受與空氣成分（氧氣、硫）的化學反應，并具有長期穩定性。 同時，可以在有限的光譜范圍內提高反射率，而相位響應幾乎不受影響。

這種反射增強金屬鏡也經常用作掃描儀光學器件。

金屬鏡按型號529條

4.特殊鏡子

LAYERTEC 提供適用于各種專業應用的反射鏡，例如

? 大帶寬、低色散的金屬反射鏡

? 零相移反射鏡以及相移反射鏡

? 用于弱激光線的諧振鏡

? 赫里奧特池

4.1金屬反射鏡

金屬是適用于低激光功率應用的成熟反射鏡材料。 它們在寬光譜帶寬（尤其是中紅外范圍）內提供高反射率，并且與色散相關的傳播時間差異可以忽略不計。

LAYERTEC 采用磁控濺射工藝生產雜散光損耗極低的金屬涂層。

我們生產金反射鏡、銀反射鏡和鋁反射鏡。 對于銀反射鏡和鋁反射鏡，建議施加額外的保護層。 這可以防止它們氧化并允許對其進行清潔。

此外，可以通過有針對性地應用其他層來提高特定波長的反射率。

4.2零相移反射鏡

在傳統的反射鏡中，入射光束的偏振類型在反射過程中發生變化。 例如，s偏振光變成p偏振光。 零相移反射鏡確保保持入射光束的偏振類型。 例如，它用于激光材料加工，將激光束從源引導到切割頭。

LAYERTEC 生產波長范圍為 157 – 4500 nm 的零相移反射鏡。 這些分量抵消了反射光束的 s 偏振部分和 p 偏振部分之間的相移。 因此，入射偏振模式被保留

4.3相移反射鏡

相移反射鏡將線偏振光轉換為圓偏振光。 這種效應在激光材料加工中te別有用，其中線性偏振會導致與軸相關的、不均勻的結果，例如 在切口或鉆孔中。

與波片的工作方式（即在垂直入射下傳輸激光束）相反，相移反射鏡通過反射和 45° 的入射角來工作。 該層系統經過優化，可實現 s 偏振光和 p 偏振光之間的特定相位差。

典型應用是在 45° 入射角下使用 λ/4 ? 90° = ?/2 的相位差，為線性偏振的入射光束生成圓偏振輻射。 我們還根據客戶要求實現其他價值。

4.4用于弱激光線的諧振器反射鏡

摻釹晶體在不同波長下呈現激光躍遷。 然而，它們的強度各不相同。 如果要發射與較弱激光躍遷的波長相對應的激光輻射，則必須抑制較強激光躍遷的激光線。

LAYERTEC 提供多種激光反射鏡，其中最強激光躍遷的 1064nm 激光線被抑制，以實現其他波長的高效激光發射。 根據激光設置，所有涂層均根據客戶規格進行設計和制造。

4.5赫里奧特池鏡

赫里奧特池通過多次反射增加腔內激光束的光路，從而可以構造緊湊的諧振器。 為此，它們由兩個焦距相等的球面鏡組成。 赫瑞特池用于縮短激光脈沖。

兩個諧振器鏡之一具有典型的非中心孔，其用作例如光束（或工藝氣體）的入口和出口。 入口側和出口側各有一個錐形開口，以防止光束被夾住。

內部精密光學制造使我們能夠滿足復雜的基板規格。